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/ AFM-SEM 原子力掃描電鏡一體機  /

今天，我們激動地推出一款革命性的新產品——Phenom AFM-SEM 原子力掃描電鏡一體機，這是一款將 SEM 與 AFM 結合的全新設備，它將開啟臺式電鏡原位關聯的新時代，為樣品分析帶來新的可能性。

Phenom AFM-SEM 原子力掃描電鏡一體機能夠提供多種測量模式，包括機械性能、相關性分析、磁性能、電機械性能和電性能等，覆蓋了從亞納米級地形測量到局部彈性、硬度、磁疇成像、壓電疇成像、導電性映射、局部表面電勢映射以及局部電性能等多個領域。

01 為什么選擇 Phenom AFM-in-SEM

掃描電子顯微鏡和原子力顯微鏡是兩種常用且互補的亞納米級樣品分析技術。將 AFM 集成到飛納臺式掃描電鏡中，合并了兩種技術的優勢，既不占用空間，又極大地提高了工作效率，并使得復雜的樣品分析成為可能。

CPEM（Correlative Probe and Electron Microscopy）技術為原位關聯顯微鏡帶來了革命性的技術。這種硬件關聯技術能夠同時獲取 SEM 和 AFM 數據，并實現它們的自動無縫關聯。

• 原位樣品表征：在 SEM 內部的原位條件下確保樣品分析同時、同地、同條件下進行，并且在飛納電鏡內部也能實現原子級分辨率。

• 精確定位感興趣區域：使用 SEM 導航 AFM 頂端到感興趣區域，實現快速且精準的定位。

無論是材料科學、納米技術、半導體、太陽能電池開發還是生命科學等領域，Phenom AFM-SEM 原子力掃描電鏡一體機都能提供不一樣的樣品分析和高級 3D 關聯成像的準確性。

• 材料科學：1D/2D 材料、鋼鐵&金屬合金、電池、陶瓷、聚合物和復合材料

• 半導體：集成電路、太陽能電池、失效分析、摻雜可視化、電流泄漏定位

• 納米結構：FIB/GIS 改性表面、量子點、納米結構薄膜、納米圖案、納米線

• 生命科學：細胞生物學、海洋生物學、蛋白質技術

02 Phenom AFM-in-SEM 應用案例

案例一 鋼鐵和合金的復合分析

利用原子力顯微鏡對雙相鋼進行復合分析，揭示了表面形貌（AFM）、鐵氧體晶粒的磁疇結構（MFM）、晶粒相比（SEM）和表面電位雜質 開爾文探針力顯微分析法。相關多模態分析揭示了復雜的性質，掃描電鏡精確定位 ROI，AFM 綜合分析。

案例二 電池的原位表征-鋰鎳錳鈷氧化物

固態電池（SSB）比鋰離子電池顯示出更高的能量密度、更長的壽命和更好的安全性。由鋰鎳錳鈷氧化物（NMC）顆粒組成的正極膠帶在手套箱中經過 200 個周期后被打開，原位切割并使用 AFM-in-SEM 測量。

SEM 成像識別了感興趣的拋光區域。EDS 圖顯示了正極膠帶的組成，包括固態電解質、NMC 顆粒和碳添加劑。C-AFM 確認了碳添加劑的導電性及其在連接性中的作用。這種 AFM-in-SEM 相關性有助于在不改變樣本表面的情況下識別材料功能或故障。

案例三 半導體材料-二硫化鉬（MoS）

二硫化鉬（MoS）是一種 2D 層狀 TMDCs，適合作為地球上豐富的催化劑或先進電子設備中的 2D 半導體。需要充分理解這些單層的制造條件，以確保可靠和可重復的屬性，如靈活性、電性或機械屬性。

我們展示了 AFM-in-SEM 解決方案，用于精確和復雜分析通過 CVD 在厚 SiO/Si 上生長的 MoS 薄片。所有技術——SEM、AFM、EFM和相位成像——都在兩組不同制造條件下的樣本上同時測量。這種方法可以比較結果，以確定最佳的制造參數，以實現所需的樣本特性。使用 AFM 地形、SEM、EFM 和相位成像對 MoS 進行復雜表征。

案例四 藥物載體介孔粉末顆粒表征

介孔粉末顆粒是適合的藥物載體，可以附著活性藥物成分（API），并用于我們體內的靶向藥物輸送。在這里，我們展示了有無 API 附著的特定顆粒表面粗糙度的直接測量，這有助于更好地理解表面影響，更有效地應用 API 以改善口服藥物輸送過程。

我們使用 AFM-in-SEM 測量并評估了不同 API 處理的二氧化硅顆粒的表面粗糙度。比較結果，未處理的顆粒比有 API 的顆粒具有更低的表面粗糙度。盡管大部分 API 處理被束縛在孔隙中，在某些部分，API 重新結晶并形成了覆蓋整個顆粒頂部的 API 團簇。

03 Phenom AFM-in-SEM 可選配件

• 樣品旋轉模塊：對于 FIB 銑削程序后的 AFM 分析非常有用。它還允許同時將多個樣品安裝到 SEM 內，并在不打開倉門的情況下進行 AFM 和 SEM 關聯測量。

• 數字相機導航模塊：數字相機精確導航 AFM 探針。