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數(shù)學(xué)為什么重要?用公式為您解釋掃描電鏡低電壓觀察不導(dǎo)電樣品的優(yōu)勢

 發(fā)布時間:2020/6/23 點(diǎn)擊量:1652
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詳細(xì)介紹:

什么是荷電效應(yīng)?

 

掃描電子顯微鏡主要用于樣品表面微觀形貌觀察,但在觀察樣品過程中經(jīng)常由于荷電效應(yīng)使得圖像異常變亮、畸變,甚至出現(xiàn)圖像模糊的情況,嚴(yán)重影響成像質(zhì)量。

 

圖1固體絕緣材料的電子發(fā)射特性曲線。橫坐標(biāo)為入射電子能量,縱坐標(biāo)為試樣的電子產(chǎn)率。荷電現(xiàn)象可以用基爾霍夫電流定律表示,即在任一瞬時流向某一結(jié)點(diǎn)的電流之和等于由節(jié)點(diǎn)流出的電流之和??捎靡韵鹿奖磉_(dá):

 

 

其中 Ip 是入射電子的電流,δIb 是背散射電子和二次電子的電流之和,Isc 是樣品接地電流,Q 為時間 t 內(nèi)的放電電荷。

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