掃描電子顯微鏡在繼承了Phenom（飛納）產(chǎn)品操作方便、30秒快速成優(yōu)質(zhì)圖像、售后無憂等優(yōu)點的同時，電鏡分辨率和圖像質(zhì)量顯著提高。采用了壽命高達1500小時的新一代CeB6燈絲和分辨率更高，功能更全的光學顯微鏡，提高后的光學顯微鏡有聚焦功能，放大倍數(shù)在20-120倍之間，具備明場和暗場兩種模式。
掃描式電子顯微鏡的工作原理如下：
樣品準備：待觀察樣品通常需要進行預處理，如表面平整化、金屬涂覆等，以提高導電性并增強圖像清晰度。
掃描：電子束在樣品表面上進行掃描，從而激發(fā)出次級電子、反射電子（SE）和背散射電子（BSE）等。
電子源：SEM使用一臺電子槍作為電子源，產(chǎn)生高能電子束。常用的電子源包括熱陰極或場發(fā)射陰極。
透鏡系統(tǒng)：電子束經(jīng)過一系列電磁透鏡的聚焦和控制，以獲取所需的束斑直徑和聚焦深度，從而控制樣品的放大倍數(shù)和分辨率。
探測器：根據(jù)所采集到的次級電子、反射電子和背散射電子等信息，使用相應(yīng)的探測器進行信號檢測和轉(zhuǎn)換。
影像處理：通過對采集到的信號進行放大、濾波和數(shù)字化處理，最終生成樣品表面的圖像。
掃描式電子顯微鏡在材料科學、生物學、納米技術(shù)、電子電器工程等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。它可以用于研究材料的微觀結(jié)構(gòu)、形貌表征、納米顆粒分析、故障分析、半導體芯片檢測、生物標本觀察等。
