飛納電子顯微鏡是根據(jù)電子光學(xué)原理，用電子束和電子透鏡代替光束和光學(xué)透鏡，使物質(zhì)的細(xì)微結(jié)構(gòu)在非常高的放大倍數(shù)下成像的儀器。
飛納電子顯微鏡的分辨能力是重要的指標(biāo)，電子顯微鏡的分辨能力以它所能分辨的相鄰兩點的間距來表示，即稱為該儀器的高點分辨率：d＝δ。顯然，分辨率越高，即d的數(shù)值（為長度單位）愈小，則儀器所能分清被觀察物體的細(xì)節(jié)也就愈多愈豐富，也就是說這臺儀器的分辨能力或分辨本領(lǐng)越強。
由電子槍發(fā)射的精細(xì)聚焦電子束經(jīng)兩級聚光鏡、偏轉(zhuǎn)線圈和物鏡射到樣品上，掃描樣品表面并激發(fā)出次級電子，次級電子的產(chǎn)生量與電子束入射角有關(guān)，即與樣品的表面結(jié)構(gòu)有關(guān)。
次級電子經(jīng)探測體收集后，由閃爍器轉(zhuǎn)換為光信號，再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘杹砜刂茻晒馄辽想娮邮膹姸龋@示出與電子束同步的掃描圖像。
圖像為立體形象，反映了標(biāo)本的表面結(jié)構(gòu)。掃描電鏡的標(biāo)本在檢驗前，需進(jìn)行固定、脫水處理，再噴涂上一層重金屬微粒，重金屬在電子束的轟擊下發(fā)出次級電子信號。
電子顯微鏡按結(jié)構(gòu)和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡等。
1、透射式電子顯微鏡常用于觀察那些用普通顯微鏡所不能分辨的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；
2、掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形貌，也能與X射線衍射儀或電子能譜儀相結(jié)合，構(gòu)成電子微探針，用于物質(zhì)成分分析；
3、發(fā)射式電子顯微鏡用于自發(fā)射電子表面的研究。
